プラズマのトータルソリューションサービスを目指して
当社では、RF電源(高周波電源)、マッチングボックスの製造・販売を
行っております。
信頼性の高いプラズマ用電源とインピーダンス整合装置、
計測・モニター装置の提供を通じて、プラズマ用電源関連製品の
トータルサービスとトータルソリューションを目指しています。
■液晶基板・半導体製造工程において使用される製造装置に搭載する
プラズマ用高周波電源、マッチングユニット及び計測器等の設計、製造、
販売及び技術サービスの提供
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