カノマックスアナリティカル株式会社 【infiTOF】半導体製造プロセスガスの分析
- 最終更新日：2019-05-15 19:18:18.0
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「infiTOF」を用いた半導体製造プロセスガスの分析について詳しく解説します
当資料は、マルチターン方式飛行時間型質量分析装置「infiTOF」を用いて
N2をベースとしたシランガスの高分解能分析について解説した技術資料です。
半導体は、成膜・エッチング・クリーニングなど様々な工程を経て
製造されています。30種類以上のガスが使われており、その中の一つ
シランガスは反応性に富んでおり、空気に触れると自然発火してしまうため、
取扱いには注意が必要です。
【掲載内容】
■半導体製造プロセスガスの分析
・分析対象
・分析方法
・結果
・結論
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基本情報【infiTOF】半導体製造プロセスガスの分析
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カタログ【infiTOF】半導体製造プロセスガスの分析
取扱企業【infiTOF】半導体製造プロセスガスの分析
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【事業内容】 気流や水流などの“流れ”（Fluid）と目に見えない“微粒子”（Particle）を精密に計測する技術を応用した製品やサービス、計測ソリューションのご提供等
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