高分解能飛行時間型質量分析装置『infiTOF-UHV』

『infiTOF-UHV』は精密質量分析が卓上サイズで行えるマルチターン
飛行時間型質量分析装置です。

当製品は同一飛行空間を複数回周回させることで長い飛行距離を得て、
小型でありながら高い質量分解能を達成することができます。

ガス分析に好適な測定質量範囲はm/z 1～1000です。

【特長】
■小型でありながら高い質量分解能を達成
■卓上サイズでポータブル
■小型・省電力化

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

当資料集では、マルチターン方式飛行時間型質量分析装置『infiTOF』を
使用した分析について紹介しています。

「一酸化炭素COの分析」をはじめ、「温室効果ガスN2Oの分析」や、
「大気成分の測定」などをラインアップ。

分析対象や分析方法、結果についてグラフと共に掲載しています。

【掲載内容】
■一酸化炭素COの分析
■温室効果ガスN2Oの分析
■大気成分の測定
■特殊ヘリウムガス（3He）の分析

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マルチターン方式飛行時間型質量分析装置『infiTOF』の
アプリケーション事例をご紹介いたします。

当事例では『infiTOF』を用いて、新品と開封から2年経った
虫さされ薬の成分を調べてみました。

その結果、一般的な質量分析計では困難なフラグメントイオンのピークを
完全に分離することが可能な質量分解能が得られ、精密質量情報から成分を
同定できました。

【概要】
■分析対象：アンモニア水含有 虫さされ薬 (アンモニア水 20.30 mL/100mL)
・新品 (使用期限2018.04)
・開封後2年経過品 (使用期限2016.05)
■分析方法
・ヘッドスペースを直接キャピラリーチューブで導入
・イオン化法E

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高分解能飛行時間型質量分析システム『infiTOF-UHV』の
アプリケーション事例をご紹介いたします。

名古屋大学 天野研究室の新田州吾准教授らの研究では、トリメチルガリウムと
アンモニアのMOVPE結晶成長での分解過程や相互反応の解析を行うことにより、
結晶成長メカニズムの解明を進めていますが、従来のモニタリングシステムでは
感度や質量分解能が不十分でした。

そこで当システムをMOVPE反応炉の直後の排気ラインに取り付けて
反応物質を直接モニタ。従来技術で困難だった高精度な分解・反応および
メカニズムの解明の研究に繋げて頂いております。

【分析例】
■MOVPE反応炉中のTMGの分析について、NH2およびCH4をオンラインでモニタ
■装置：高分解能飛行時間型質量分析計　infiTOF-UHV

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高分解能飛行時間型質量分析計『infiTOF-UHV』の
アプリケーション事例をご紹介いたします。

名古屋大学 天野研究室の新田州吾准教授らの研究では、『infiTOF-UHV』を
使用して、MOVPE反応炉の排気ライン内のNH3、およびその関連する反応物質を
モニターすることで、プロセスメカニズムの解明の研究を行っています。

【分析例】
■MOVPE反応炉のNH3およびその関連する反応物質をオンラインでモニタ
■装置：高分解能飛行時間型質量分析計　infiTOF-UHV

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マルチターン飛行時間型質量分析装置の分析部では、周回軌道を任意回数イオンが周回します。集会部の前にはイオンゲートが設けられており、m/z範囲に対応したイオンを自動的に選択し、周回軌道に通します。

【メリット】
■測定領域の積算回数が増え、S/Nが向上
■キャリアガスなどの大量かつ、分析上不要なバックグラウンド成分を高分解能SIMモードにより測定からはず図ことで、検出器を保護・装置性能を長時間維持できます。
■ピークがなく、測定不必要なm/zは範囲を測定しないことで、データ容量に低減することが可能。

上記のメリットにより、infiTOFを利用して、高分解能SIMモードによる測定が可能となりました。

※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。
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「infiTOFを用いた昇温脱離ガス分析」について、ご紹介いたします。
昇温脱離法は、材料を加熱した際に材料から脱離する・熱分解により生成するガスの挙動を解析することにより、材料へのガス吸着・化学吸着の状態や、材料の熱特性を把握することが可能です。

【特長】
■精密エレクトロニクス材料や個体触媒の開発において有用な情報をもたらす
■QMSでは質量分離ができない同整数質量の低分子ガス成分を個別に精密質量解析することが可能

上記により、従来にない昇温脱離ガスの挙動把握が可能になります。

※詳しくはお問い合わせ、もしくはPDF資料をダウンロードしてご覧ください。 （詳細を見る）

当資料は、マルチターン方式飛行時間型質量分析装置「infiTOF」を用いて
ヘリウム3を精製した特殊ヘリウムガスの分析について解説した技術資料です。

ヘリウム3は大気中でヘリウム4の100万分の1しか存在しない同位体で、
核融合研究や中性子検出に用いられます。

【掲載内容】
■特殊ヘリウムガス(3He)の分析
・分析対象と比較対象
・分析方法
・結果
・結論

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当資料は、高分解能飛行時間型質量計「infTOF」による
「TG-DTA/MS」での加熱発生ガス分析について解説した技術資料です。

示差熱熱重量同時測定装置(TG-DTA)は、試料の温度を変化させそれに伴う
重量変化、及び基準試料との温度差を測定する事で、試料の熱による
物理的化学的変化の挙動を調べることができる手法です。

マルチターン飛行時間型質量分析計「infTOF」を用いる事でQMSでは
困難な精密質量分析での発生ガスの定性と発生挙動解析を可能とします。

【掲載内容】
■シュウ酸カルシウム TG-MS分析
■ポリカーボネート樹脂の TG-MS分析
■医薬品(市販風邪薬)の TG-MS分析

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当資料は、マルチターン方式飛行時間型質量分析装置「infiTOF」を用いて
大気中の成分を測定した詳細を解説した技術資料です。

イオン周回数設定で分解能を5,000とし、10分間の積算測定を行ったところ、
同整数質量の成分を精密質量測定によって分離・同定できました。
また、38Ar（大気中5.9ppm）のような存在比の少ない成分も
ピークが確認できています。

【掲載内容】
■大気成分の測定
・分析対象
・分析方法
・結果

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当資料は、FABイオン源を備えたマルチターン方式飛行時間型質量分析装置
「infiTOF-FAB」を用いてビタミンB12を測定した詳細を解説した技術資料です。

リニアモード、マルチターンモードで測定を行った結果を、
グラフと共にご紹介します。

【掲載内容】
■FABイオン源を用いたビタミンB12の測定
・リニアモードで測定
・マルチターンモードで測定
・結果

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近年、集積度の向上に伴い、プロセスガス種類の増加ならびに緻密な制御が必要とされ、工程が複雑化しています。以前は問題にならなかった反応のメカニズム、たとえば、微量の不純物、副生成物が近年は問題視されるようになってきました。

予期せぬ物質の生成、ぼんやりしていた物質、反応の不安定要因を、高分解能によって精度良くモニタリングできるのが、質量分析計『infiTOF』です。

【特徴】
■　歩留まり改善
■　プロセス時間の短縮
■　リアルタイム
■　コンパクト＝モニタリングしたい箇所に直接接続可能　
■　可搬性

※本製品ユーザーである名古屋大学 天野研究室とMSI.TOKYO株式会社が実施した 実験に関する技術資料をPDFダウンロードいただけます。
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マルチターン方式飛行時間型質量分析装置『infiTOF』の分析部では、
イオンが周回軌道を任意の回数周回します。

周回部の前にはイオンゲート（ディフレクター）が設けられており、
測定するm/z範囲に対応したイオンを自動的に選択して周回軌道に通します。

この特長を利用して、未知試料の分析は「リニアモード」から
「マルチターンモード」の流れで行うと効率的です。

【特長】
■リニアモード
　0.5週で全m/zをスキャンし、主要ピークを見つける
■マルチターンモード
　主要ピークに注目して高分解能測定でを行い、精密質量を求める

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半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、
エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。
また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。

プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分を
リアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、
さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。

高分解能を有し、リアルタイム測定が可能な質量分析装置であるカノマックスの『infiTOF』は、より高品質な製品の研究・開発・製造をサポートします。

【ソリューション】
■プロセスガスのリアルタイム測定
■現場測定に対応したポータビリティー

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当資料は、マルチターン方式飛行時間型質量分析装置「infiTOF」を用いて
N2をベースとしたシランガスの高分解能分析について解説した技術資料です。

半導体は、成膜・エッチング・クリーニングなど様々な工程を経て
製造されています。30種類以上のガスが使われており、その中の一つ
シランガスは反応性に富んでおり、空気に触れると自然発火してしまうため、
取扱いには注意が必要です。

【掲載内容】
■半導体製造プロセスガスの分析
・分析対象
・分析方法
・結果
・結論

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材料を加熱した際に材料から脱離する、あるいは熱分解により生成する
ガスの挙動を解析することにより、材料へのガス吸着・化学吸着の
状態や材料の熱特性を把握することが可能です。

材料や製品は様々な条件にさらされることによってガスを発生します。
このガスは、場合によっては人体に影響を与えたり、製品の品質・性能に
不具合を引き起こしたりと、微量でもトラブルの原因になる場合もあります。

「infiTOF-UHV」を用いれば、高分解モードでの脱離ガス挙動把握が
可能になります。

【特長（infiTOF-UHV）】
■マルチターンTOFアナライザ
■高分解能によるリアルタイム分析 分解能>30,000
■ガス分析に好適 測定域 m/z 1～1,000
■卓上サイズでどこでも設置・どこでも測定
■駆動電源は100～230 VAC,500Wと場所を選ばず省エネを実現

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材料を加熱した際に材料から脱離する、あるいは熱分解により生成する
ガスの挙動を解析することにより、材料へのガス吸着・化学吸着の
状態や材料の熱特性を把握することが可能です。

材料や製品は様々な条件にさらされることによってガスを発生します。
このガスは、場合によっては人体に影響を与えたり、製品の品質・性能に
不具合を引き起こしたりと、微量でもトラブルの原因になる場合もあります。

「infiTOF-UHV」を用いれば、高分解モードでの脱離ガス挙動把握が
可能になります。

【特長（infiTOF-UHV）】
■マルチターンTOFアナライザ
■高分解能によるリアルタイム分析 分解能>30,000
■ガス分析に好適 測定域 m/z 1～1,000
■卓上サイズでどこでも設置・どこでも測定
■駆動電源は100～230 VAC,500Wと場所を選ばず省エネを実現

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