多角アルミナ粒子/球形アルミナ粒子の試験結果を詳しく解説
条件の異なる2つの試験から、膜および、基材の特性を評価した
事例をご紹介します。
球形アルミナ粒子をエロージョン進行グラフ（損傷進行）でみた結果、
「TiCN_1はTiCN_2よりも弱い。DLC_1はDLC_2よりも強い。」
といった試験結果が得られました。
【事例概要】
■目的
・条件の異なる2つの試験から、膜および、基材の特性を評価する
■試験結果（多角アルミナ粒子）
・皮膜強さはDLCがTiCNよりも強い
・皮膜部の強さ分布はTiCNが曲線分布である
・DLCは基材との間に弱い層が存在する
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基本情報【試験事例】2粒子試験でみる硬質薄膜と基材の特性
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