株式会社パルメソ 【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価

多角アルミナ粒子1.2µmを使用した試験結果を詳しく解説

大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに
評価することができた事例をご紹介します。

結果、超薄膜のエロージョン率は0.002µm/gで3つの試験部位と
深さ方向共に強さはほぼ一定であることなどが判明しました。

【事例概要】
■目的
・硬質超薄膜の強さ特定
・超薄膜の膜厚の特定
・軟質基材上の硬質膜の計測可能能力の探索
■評価
・膜厚は部位によって差があり、光干渉色と一致していることが判明
・界面部の強さの変化を可視化 など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価

取扱企業【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価

palmesoimg.png

株式会社パルメソ

MSE試験装置、MSE受託試験

【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度必須
ご要望必須

  • あと文字入力できます。

目的必須
添付資料
お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。

はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら

イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社パルメソ