多角アルミナ粒子1.2µmを使用した試験結果を詳しく解説
大変軟らかいSiウエハ上の硬く薄いDLC膜の強さを、基材に影響されずに
評価することができた事例をご紹介します。
結果、超薄膜のエロージョン率は0.002µm/gで3つの試験部位と
深さ方向共に強さはほぼ一定であることなどが判明しました。
【事例概要】
■目的
・硬質超薄膜の強さ特定
・超薄膜の膜厚の特定
・軟質基材上の硬質膜の計測可能能力の探索
■評価
・膜厚は部位によって差があり、光干渉色と一致していることが判明
・界面部の強さの変化を可視化 など
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基本情報【試験事例】DLC超薄膜の強さ評価
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