株式会社マツボーアーク検知器

　１usの分解能でアークを検知し、歩留り向上に貢献いたします。　パルスモニタとしても最適です。

・1usの高分解能で電流、電圧の振れ幅をモニタリングし、異常検知いたします。

・RF電源、マッチングボックス間に容易にインストールすることが可能。

・Ethernet Net(CAT)等で通信が可能です。

・エッチング装置、CVD、スパッタ等の量産現場でのアーク検知、パルスモニターとして最適です。

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用途／実績例	半導体ファウンドリの量産現場で、エッチング装置、CVD、スパッタ等のパルスモニター、アーク検知器として実績がございます。