株式会社テクノメイト 高圧ポンプユニット KPM-5030 ※カスタマイズ可能

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小!研磨ウエハ洗浄に好適

KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。

【特長】
◆設置面積が小さくコンパクト設計
◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能

※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみならず洗浄に関する案件をお持ちでしたらご相談下さい。

基本情報高圧ポンプユニット KPM-5030 ※カスタマイズ可能

【仕様】
〇サイズ
 ・W598×D548×H1224(mm)
○重量 150Kg
○吐出流量、圧力
 ・33.5L/分、5MPa
○供給エア圧:0.4~0.7MPa
○純水仕様圧力:0.3~0.4MPa
○アラーム機能
 供給水圧低下
 インバータ出力異常

※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
※※お気軽にお問い合わせください
型番・ブランド名 KPM-5030
用途/実績例 【用途】
・研磨ウエハの洗浄

ラインナップ

型番 概要
KPM-5030

カタログ高圧ポンプユニット KPM-5030 ※カスタマイズ可能

取扱企業高圧ポンプユニット KPM-5030 ※カスタマイズ可能

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各種機器・装置の設計・製作 【取扱い商品】 昇圧ポンプユニット 高圧ポンプユニット 真空ポンプユニット 冷却装置 加熱装置 恒温循環装置 薬液供給装置 各種試験装置 3Dメガネ洗浄機 殺菌装置 排気装置 燃料電池関連

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