いちよしエンジ株式会社 Free Chamber Order System

多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム

『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、
数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された
真空チャンバ設計システムです。

数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期での
ご提供を可能にします。

【装置(一部抜粋)】
■排気系
 ・ロータリポンプ
 ・ターボ分子ポンプ
■成膜源
 ・スパッタリングカソード
 ・電子ビーム蒸発源
■その他機構
 ・試料ステージ回転上下機構(自動・手動)
 ・シャッタ機構付覗窓

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基本情報Free Chamber Order System

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カタログFree Chamber Order System

取扱企業Free Chamber Order System

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いちよしエンジ株式会社

【営業品目】 ■設計・作成  ・真空排気ユニット  ・真空蒸着装置  ・スパッタリング装置  ・真空ベーキング装置  ・その他、真空装置全般、コンポーネント製品  ・各種制御盤の設計・施工  ・シーケンスプログラム設計   (三菱、キーエンス、シーメンス他) ■スパッタ(ターゲット)材料の販売  ・バッキングプレート製作からボンディングまで ■研究開発支援  ・教育現場支援  ・操作指導  ・条件出し補助  ・量産化移行支援  ・産学官連携 ■改造、メンテナンス  ・オーバーホール、点検、修理  ・自動化対応、動作変更、改善提案  ・レシピ、データロギング機能の追加、生産管理支援  ・消耗部品製作  ・機構設計改造  ・シーケンサ更新(シーメンス製S5→S7他) ■蒸着、スパッタによる受託加工

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