CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT プレシテック・ジャパン

半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介！

当資料は、ウェハー厚み測定センサーについて掲載しています。

接触ゲージとの置換に好適な「CHRocodile 2シリーズ」をはじめ、
半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザインなどをご紹介。

ぜひ、ご一読ください。

【掲載内容】
■CHRocodile 2シリーズ
■半導体インプロセス向け光学測定ヘッドのデザイン
■利点：色収差共焦点原理による使用
■利点：分光干渉原理による使用
■ウェハーインプロセス中のSi厚み測定データ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

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用途／実績例	【用途・測定項目・メリットなどキーワード】非接触センサ、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、高さ、ステップハイト、平坦度、TTV、厚み計測、厚み測定、厚み検査、高速、3次元、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、半導体ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、光沢、鏡面、簡単

カタログCHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

取扱企業CHRocodile 2DPS＋CHRocodile 2IT

プレシテック・ジャパン株式会社

■レーザ加工関連　- 加工ヘッド　- 溶接ヘッド　- プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ　- シングルポイント　　2S/2SE：高精度　　2HS：ハイパワー　- デュアルポイント　　2DPS 　- 廉価版シングルポイント　　C：プローブと一体　　Mini：プローブと別体　- ラインセンサ　　CLS：低クロストークノイズ　　CLS2.0：長いライン長・広測定範囲　　CLS2 PRO：長いライン長・角度許容度高・分光干渉CHRocodileシリーズ　- シングルポイント　　2IT：高精度　　2DW：ドープウエハ対応　　2RW：粗ウエハ対応　　2SX：加工モニタリング用広測定範囲・分光干渉センサ用エリアスキャナ　　　Flying Spot Scanner：Φ40～310mm 　　　＊CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ：不透明体の非接触測定