プレシテック・ジャパン株式会社 測定技術を次のレベルへ

ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善

生産工程の高速化ニーズに応えるには、超高速のインライン測定による
データが不可欠です。

そのような技術には非接触、高精度のほか、堅牢性、高信頼性、高分解能の
3Dイメージングが求められます。

当社の「色収差共焦点センサー」なら、こうした要件を満たすことが可能です。

高性能な光学レンズを採用した当社の色収差共焦点センサーは、白色光が
光軸に沿って1点ではなく複数の距離で合焦するため、可視光のすべての
波長で焦点が合います。

この多機能な光学センサーにより、測定技術の新たな局面が開かれます。

この他にも当社では「CLS-Cラインセンサー」や「Cポイントセンサー」、
「色収差ポイントセンサー」などを取り扱っております

【特長】
■さまざまな材料の測定が可能:透明/不透明、拡散面/反射面、吸収面など
■同軸測定によるシャドーイング効果の防止
■広い許容確度と高NAにより反射表面で最大45°、拡散表面で>80°が可能
■超高速マルチポイントラインセンサーによる複数点の並行測定できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【その他特長】
■Z軸の超高分解能と超高精度:測定値の取得にZ軸走査が不要
               全測定点から測定値取得
■高い側面分解能を備えた小さく一定なスポット径
■光学プローブのため可動部品や組込電子部品がなく、高い熱安定性、
 長期の信頼性と再現性を実現

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用途/実績例 【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、表面粗さ、平坦度、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、ラインセンサ、ラインスキャン、エリアスキャン、全面、小型、コンパクト、安い、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア)、CMM、溶接部、ガラス、石英ガラス、珪酸ガラス(医療用アンプル), ディスプレイ向けガラス、カーウインドシールド、PCB、医療用バルーン、バリアフィルム、PETフィルム、コート、フィルム、多層フィルム、塗布膜、コンフォーマルコーティング、電極層コーティング、ステントコーティング、ポリイミド、PVB、樹脂材、フラックス、接着剤、絶縁膜、空気層、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

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■レーザ加工関連  - 加工ヘッド  - 溶接ヘッド  - プロセスモニター ■光学センサ <距離・形状、厚み測定> ・色収差共焦点 CHRocodileシリーズ  - シングルポイント   2S/2SE:高精度   2HS:ハイパワー  - デュアルポイント   2DPS  - 廉価版シングルポイント   C:プローブと一体   Mini:プローブと別体  - ラインセンサ   CLS:低クロストークノイズ   CLS2.0:長いライン長・広測定範囲   CLS2 PRO:長いライン長・角度許容度高 ・分光干渉CHRocodileシリーズ  - シングルポイント   2IT:高精度   2DW:ドープウエハ対応   2RW:粗ウエハ対応   2SX:加工モニタリング用広測定範囲 ・分光干渉センサ用エリアスキャナ    Flying Spot Scanner:Φ40~310mm    *CHRocodileシリーズと組合わせ <厚み測定> レーザーフォトサーマルセンサ Enovasenseセンサ:不透明体の非接触測定

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