スパッタリング装置『Star.500-EOSS(R)』ティー・ケイ・エス

光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！

当社では、独FHR社の『Star.500-EOSS(R)』を取り扱っております。

『Star.500-EOSS(R)』は、光学フィルター成膜用として設計された
マグネトロンスパッタシステムです。

成膜用のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。
200mm径までのフラット並びに曲面の基板まで対応しており、
基板加熱機構も組み込みできます。

【特長とメリット】
■傑出した光学多層膜の再現性
■優れた膜厚均一性
■シリンダー型スパッタカソードとスパッタアップとの組み合わせによる
　膜質の改善と欠陥の無い成膜
■円筒型ターゲットによる長寿命ターゲットライフと
　成膜レート変動の最小化
■完全に自動化されたプロセス制御　

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取扱企業スパッタリング装置『Star.500-EOSS(R)』

ティー・ケイ・エス株式会社

研究用・製造用真空プロセス機器の輸入販売、保守・延命化のコンサルティング ■半導体・電子デバイス・光学薄膜製造装置等の輸出入販売・保守 ■高密度プラズマソースの輸出入販売・保守 ■有機材料昇華精製装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームエッチング・ミリング装置の輸出入販売・保守 ■イオンビームスパッタ装置の輸出入販売・保守