株式会社日立ハイテク 開発向けマルチ成膜装置『R＆D向けPVD』
- 最終更新日：2020-03-04 09:10:57.0
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マグネトロンスパッタ、熱蒸着、EBに対応！IoT・車載デバイスの開発向け複合成膜装置
『R＆D向けPVD』は、開発向けマルチ成膜装置です。
マグネトロンスパッタ、熱蒸着、EBに対応。
ワールドワイドで納入実績は、400台以上を誇ります。
モジュール設計により、ご希望に応じた組合せが可能です。
【特長】
■R＆Dに特化した開発用成膜装置
■著名な研究所、大学、企業など納入実績400台以上
■マグネトロンスパッタ、熱蒸着、E-Beamの組合せが可能
（改造により組合せも変更可能）
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基本情報開発向けマルチ成膜装置『R＆D向けPVD』
【ラインアップ】
■PVD75
■PVD200
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| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
取扱企業開発向けマルチ成膜装置『R＆D向けPVD』
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半導体製造装置、FPD・ハードディスク関連製造装置、汎用分析機器、解析装置、医用分析装置の製造・販売・サービス、および産業・ITシステム、工業材料、電子デバイス・材料などの販売
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