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IGBT、IPM、P-MOS FET、SiC、Diopeなどのパワーモジュール用AC特性評価装置
「パワーモジュール動特性評価装置」は低ストレーインダクタンスを実現したAC特性評価装置です。 高速遮断回路内蔵により、サンプル破裂時に装置を保護します。 ＜製品特長＞ １．低ストレーインダク…
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【高速・均一・両面処理】メッキ前処理、高速通信用低伝送損失基盤等の貼付け前処理に。
「バッチ式プラズマ処理装置」はLCP・PTFE等の貼付け前処理、デスミア・ドライフィルムの残渣除去に使用可能です。 世界各国の量産工場で200台以上稼働実績があります。 ＜製品特長＞ １．高…
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【高速・均一・両面処理】メッキ前処理、LCP・PTFE等の貼付け前処理に。
「インライン式プラズマ処理装置」は高速通信用低伝送損失基盤等の貼付け前処理、 デスミア・ドライフィルムの残渣除去に使用可能です。 インライン搬送にも対応しています。 ＜製品特長＞ １．…
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【タクト比較約50%削減※】LCP、PTFE等の貼付け前処理、デスミア・ドライフィルムの除去に。（※自社従来製品比）
「ロールｔｏロール方式 プラズマ処理装置」が2019年モデルとしてアップグレードしました。 主な製品特長は下記を参考にしてください。 ＜製品特長＞ １．新電極採用 ・プラズマ密度のＵＰに…
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ＦＰＣロール基盤対応 UVレーザードリラー
「UVレーザードリラー」は新たなスキャナーを搭載し、処理時間を短縮したUVレーザードリラーです。 また、20W ⇒ 30Wに変更し加工速度をＵＰしました ＜製品特長＞ ・従来製品に比較し、処…
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LEDに規定電力を印加した際の、LEDのジャクション温度を測定。熱抵抗の測定が可能。
「LED過度熱抵抗テスター」はLEDのジャクション温度および、熱抵抗の測定が可能です。 PC上で測定条件を設定し、自動測定。データ保存も自動で行われます。 ＜製品特長＞ ・VF法による高精度…
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『MEMSセンシング＆ネットワークデバイス向け装置ラインアップ』
MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプロセスを効率化
当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。 今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にて お…
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微細加工やパターニングに適した、薄膜＆高機能フィルム用レーザーのご紹介
日立ハイテクでは『薄膜＆高機能フィルム用レーザー』を取り扱っております。 パターニングをはじめ、切断加工や穴あけ、異形加工、 ハーフカット等に対応。 マルチ波長対応による高いプロセス適応…
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高出力・短パルス制御！下地にダメージレスで表面のみ瞬間的に加熱が可能な光焼成装置
日立ハイテクでは『光焼成装置』を取り扱っております。 高出力ランプの照射光をμ秒で精密制御。 下地にダメージレスで、表面のみ瞬間的に加熱が可能です。 国内デモルームでの実験もお試し頂くこ…
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ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた角度に旋回可能
日立ハイテクでは『曲面スリットコーター』を取り扱っております。 平面はもちろん、凹/凸面、凹凸、フレキシブルへ塗布が可能。 ワークはステージにより搬送され、スリットダイはワーク形状に合わせた …
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フィルム上面＆下面からの熱風加熱＋IR加熱効果！
日立ハイテクでは『Roll to Roll塗工乾燥装置』を取り扱っております。 大掛かりなストラクチャーは不要。装置＋据付コスト低減に貢献し、 下面加熱による効果で基材と塗布膜の密着強度をアッ…
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インクジェット・プリンタブル・プロセスにより、電子デバイスの低コスト製造に貢献します！
日立ハイテクでは『Roll to Rollインクジェット』を取り扱っております。 着弾精度が高い少滴吐出により高精度塗布を提供。 また枚葉式だけでなくRoll to Rollに対応し、生産性を…
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レーザ出射ユニットを複数搭載！外部応力が生じないため、バリやクラックを抑制
日立ハイテクでは『レーザースリッター』を取り扱っております。 刃物で難加工な機能性コートが積層されたフイルムを レーザービームにより非接触でスリット加工。 特殊なレーザー光学系により加工…
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高い性能を維持しながらランニングコストを大幅に低減できる省エネシステムの構築もお任せください！
日立ハイテクの『クリーン・ドライエアシステム』をご紹介します。 ローター生産から機械設計・製造まで一貫して行ってきたノウハウを生かし ドライ環境が必要な様々な段階におけるお客様のニーズに、 …
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立体構造パターン対応！MEMS特有の材料・工程に対応したカスタム装置
日立ハイテクでは『ウェット処理装置』を取り扱っております。 厚膜レジスト、フィルムレジスト対応の装置をはじめ、 MEMS対応仕様などをラインアップ。 お客様特有のプロセスもカスタマイズ対…
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マグネトロンスパッタ、熱蒸着、EBに対応！IoT・車載デバイスの開発向け複合成膜装置
『R＆D向けPVD』は、開発向けマルチ成膜装置です。 マグネトロンスパッタ、熱蒸着、EBに対応。 ワールドワイドで納入実績は、400台以上を誇ります。 モジュール設計により、ご希望に応じ…
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一連の動作を1台の設備で行うことが可能なOCR貼り合わせ装置をご紹介！
日立ハイテクでは『OCR貼り合わせ装置』を取り扱っております。 一連の動作を1台の設備で行うことが可能な「大気中貼り合わせ」と、 「真空下貼り合わせ」2種の装置をラインアップ。 用途に合…
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圧電材料/磁性材料対応のドライエッチング装置をご紹介！
日立ハイテクでは『イオンミリング装置』を取り扱っております。 小径の電極で大面積の加工が可能な「拡散ビーム型ミリング装置」と、 実験開発向けに特化した「R＆D用小型ミリング装置」をラインアップ…
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MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置。試作品の接合界面評価から量産品の全数検査まで
『超音波映像装置』は、MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置です。 日立ハイテクは、開発・試作～少量生産向けの「FineSATシリーズ」から ウェハ全自動検査向けの「Wafer LINE」まで…
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高均一性と高スループットの両立が可能なバッチ式イオンミリング装置のご紹介です
『IM-580シリーズ』は、大型基板および多数枚数処理に適した バッチ式イオンビームミリング装置です。 最大φ580のバケット型イオン源。 角形状基板など異形基板対応、異形基板混合対応、基板…
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豊富なチャック方式を選択可能な小型イオンミリング装置のご紹介です
『IMシリーズ』は、研究開発および少量生産に適した 小型イオンビームミリング装置です。 コンパクトなフットプリント。 終点検知システムを装備しています（ロードロック有にオプション適用）。 …
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エッチング高レートと低レート制御が可能な枚葉式イオンミリング装置のご紹介です
『IMLシリーズ』は、カセットtoカセットで処理する 枚葉式イオンビームミリング装置です。 エッチング高レートと低レート制御が可能。 また、処理室が2室の装置もできます。 お客様の用途…
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アジア大手電子機器メーカーに実績多数！様々な分野での表面処理を提案します！
株式会社日立ハイテクノロジーズは、アジア大手電子機器メーカーに多数実績のあるプラズマ装置をご提案します。 小経口化リジッド、フレキシブルプリント基板のスミア除去に適したデスミア装置など、様々な分野で…
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不活性ガス×超低露点環境(1ppm）のハイブリッド仕様を実現します！
『グローブボックス』は、～-76℃DPに露点をコントロールできるボックスです。 デジカント除湿式で水分を除去する「Desi-Cube」をはじめ、 不活性ガス置換式で酸素・水分を除去する「N-C…
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品質と処理能力を両立した光学フィルム用レーザ切断システム！従来のメカ切断やレーザ切断における課題を解決します！
『TLSM-301』は、高精度で自由な切断加工が可能な光学フィルム用レーザ切断システムです。複雑な形状を早い速度で加工出来ない（位置ズレ）、加減速域で熱影響が生じる、などこれまでのレーザ加工における課…
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光焼成装置『PulseForge』【瞬間的に加熱、 乾燥、焼成】
耐熱性が低い基板でもダメージなく、表面部だけを乾燥、焼成する光焼成装置！
『PulseForge』は、独自開発の高出力キセノンランプの照射光を精密制御することで、材料の表面のみを瞬間的に加熱し、乾燥、焼成させる装置です。材料の速乾、伝導性・密着性の改善にも効果があり、高出力…
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低コストで高生産性を実現！優れた再現性を持つロータリースクリーン印刷機
『ロールtoロール』は、円筒状版によって精細な印刷を、高速で連続して 行うことができるロータリースクリーン印刷機です。 低い製造コストで、高い生産性を実現できます。 優れた再現性を持ち、…
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アジア有力企業において多数の実績あり。
極小箇所をピンポイント処理します。 ■処理対象 対象ワーク表面の改質／粗化(接合強度の向上、密着性の向上） 対象ワーク表面の有機物除去 【特徴】 ■処理幅の狭い面積に最適: 10…
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アジア有力企業において多数の実績あり。
対抗電極下で安定したプラズマを発生させます。 さらに、誘電体を電極間に入れることにより、安定したプラズマを 発生、維持させることが出来ます。 ■処理対象 対象ワーク表面の改質／粗化(接合…
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アジア有力企業において多数の実績あり。
プラズマ発生部と処理部を完全に乖離します。 処理はラジカル成分のみで実施します。 ■処理対象 対象ワーク表面の改質(接合強度の向上、密着性の向上） 対象ワーク表面の有機物除去 【…
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コスト低減に大きく貢献。Roll to Rollコーターです。
○2タイプの乾燥炉をご提案(薄型コンパクトドライヤー、大型チャンバー式ドライヤー) ○乾燥方式は熱風に加え、IR(赤外線)を用い、高効率乾燥を実現 ○自社製造、多機能スロットダイノズルは、超薄…
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コンパクト化、低コストを実現！乾燥効率が更にUPしたコーター
『コンパクト・ドライヤー型コーター』は、CT-IRヒータ併用により 更に乾燥効率がUPした塗工乾燥装置です。 幅2300mmまで、厚み15～200μmまでの樹脂フィルムや、 金属箔などの基材…
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