【2019年モデル】ロールｔｏロール方式　プラズマ処理装置日立ハイテク

【タクト比較約50%削減※】LCP、PTFE等の貼付け前処理、デスミア・ドライフィルムの除去に。（※自社従来製品比）

「ロールｔｏロール方式　プラズマ処理装置」が2019年モデルとしてアップグレードしました。
主な製品特長は下記を参考にしてください。

＜製品特長＞
１．新電極採用
　・プラズマ密度のＵＰにより電極1枚辺りの処理効率が上昇
　・高速、高均一（面内均一性±15%以内）な処理を提供
　・Max 550mm幅対応可
２．処理時間の短縮
　・プラズマ照射長を約50%削減（電極数：旧タイプ12枚 ⇒ 19年モデル7枚）
　・両面処理にも対応（両面・片面処理選択可）
３．冷却性能ＵＰ
　・冷却性をＵＰ、熱による基板のダメージを抑制

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基本情報【2019年モデル】ロールｔｏロール方式　プラズマ処理装置

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