超高速　ワイヤーボンド3次元外観検査装置アローズエンジニアリング

短時間検査、3次元測定、高精度、カスタマイズ可能な外観検査装置です。

本装置は、超高速（１視野１秒定地）で、基板上のワイヤーとボンディング外観検査を行う画像処理装置です。ワイヤーの高さを測定する3次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール計上を測定する高解像度の2次元画像処理部の2ステーションで構成されます。2次元画像処理部と3次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは2台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。

■装置構成例
（2次元画像処理部）
・500万画素CCDカメラ
・レンズ　倍率×1.5倍
・青色LED　ドーム同軸証明
・LED電源　3HC

（3次元処理部）
・130万画素CCDカメラ
・CCTVレンズ　f=50mm
・赤色LED　ドーム証明
・画像処理PC及びカメラ取り込みボード

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基本情報超高速　ワイヤーボンド3次元外観検査装置

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用途／実績例	基板のワイヤーボンディング外観検査に

取扱企業超高速　ワイヤーボンド3次元外観検査装置

アローズエンジニアリング株式会社

1.半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売 2.各種半導体装置周辺機器の修理・オーバーホール 3.半導体製造装置の付帯設備工事及び保守・保全 4.中古半導体装置及び中古ユニット・中古部品の販売 5.金属機械加工・特殊樹脂加工の設計・製造・販売 6.瞬低保護装置（VoltageSagProtector）の製造販売 7.各種検査機器・顕微鏡の販売 8.工業薬品の販売