3DX線ステレオ式観察装置FX-400tRX/FX-500tRX アイビット

3D-X線ステレオ方式！パワーデバイスの2層はんだ分離検査が実現しました！

当製品は、「X線ステレオ方式」を用いてパワーデバイスのチップ下、
絶縁基板下のはんだを別々に検査する機能があります。

X線ステレオ方式についてX線の透過原理を用いた場合、チップ下の
はんだ部と絶縁基板下のはんだ部も同じ位置に写ってしまうため、
表面と裏面が重なり、正しい検査ができませんでした。

X線ステレオ方式は、それぞれのはんだを分離して切り分け検査が
可能となった画期的な検査装置です。

【特長】
■130kV、0.5mA、39Wの高出力X線で銅板5mmも透過可能（FX-500tRX）
■110kV、0.2mA、20Wの高出力と空間分解能2μmの高解像度を達成（FX-400tRX）
■3D-X線ステレオ方式による2層分離検査が可能
■長寿命、130万画素、14bit（16384階調）X線フラットバネルの採用による
　ランニングコストの低減
■コンパクトな検査機本体、QRコード認識によるトレーサビリティ対応

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基本情報3DX線ステレオ式観察装置FX-400tRX/FX-500tRX

【仕様（抜粋）】
<FX-400tRX>
■X線管種類：マイクロフォーカス密閉源（密閉型）
■X線ターゲット位置：透過型ターゲット（開放管と同じ方式）
■X線管電圧、管電流：30-110kV、200μA
■X線出力：16W
■X線焦点径：2μm
<FX-500tRX>
■X線管種類：マイクロフォーカス密閉源（密閉型）
■X線ターゲット位置：反射型ターゲット
■X線管電圧、管電流：30-130kV、300μA
■X線出力：39W
■X線焦点径：5μm

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