有機アミン系剥離液にも対応可能！好適スプレー配列により、レジスト残渣が残りません
株式会社フジ機工の取り扱う、パターン形成用の剥離装置を
ご紹介します。
枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応。
また、好適スプレー配列により、レジスト残渣が残らず、
有機アミン系剥離液にも対応可能です。
【特長】
■枚葉基板からRoll to Rollによるフレキシブル基板まで対応
■好適スプレー配列により、レジスト残渣が残らない
■有機アミン系剥離液にも対応可能
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基本情報【半導体・プリント基板水平製造装置】剥離装置(パターン形成)
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カタログ【半導体・プリント基板水平製造装置】剥離装置(パターン形成)
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