真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の
ご紹介資料です。
現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や
VIE-system導入の効果などを掲載しています。
是非、ダウンロードしてご覧ください。
【掲載内容】
■ロードロック室 現在の排気システム
■ロードロック室 現在の排気システム（例）
■ロードロック室 真空集中排気システム
■VIE-system 導入の効果
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【資料】真空集中排気システム『VIE-system』
【導入の効果】
■真空サーバですべてのロードロックチャンバの真空排気が可能となる
■ポンプ台数が減る
■ポンプ消費電力の低減
■真空サーバのドライポンプは負荷の少ない圧力領域でフル稼働
■大規模化、高真空化にも展開できる
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