酸素フリー、高効率のウェーハプロセス!図を用いて分かりやすく説明しています
当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。
真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の
真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。
また、カラーで図を用いて分かりやすく説明しています。
是非、ダウンロードしてご一読ください。
【掲載内容】
■真空ロードポートVLP (Vacuum Load Port)の構成
■真空EFEMの構成
■真空EFEMのオペレーション FOUPのローディング
■真空EFEMのオペレーション ポートチャンバーとFOUPの真空排気
■真空EFEMのオペレーション ウェーハ搬送(ロード/アンロード)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報【資料】真空EFEM
【その他の記載内容】
■真空EFEMのオペレーション プロセス完了
■真空EFEMのオペレーション ポートチャンバーN2ベント
■真空EFEMのオペレーション FOUPのアンロード
■真空EFEMとプロセス装置
■真空EFEMの特長
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用途/実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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