レイリサーチ株式会社ウエハ搬送機Inline対応

最終更新日：2020-08-24 16:07:39.0
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ご希望の測定機、検査機を搭載可能です。

ウエハ受けステージからウエハを取出し、測定ユニットまで自動搬送を行います。
測定終了後は、ウエハを指定されたアンロードカセットに収納可能です。
お客様ご希望の測定機、検査機に対応します。
【特徴】
　■ご希望の測定機、検査機を搭載可能
　■8インチ・12インチウエハに対応
　■測定条件、測定結果を上位転送可能

基本情報ウエハ搬送機Inline対応

【参考仕様】
　■ウエハサイズ：8インチ、12インチ
　■構成要素
　　→搬送ユニット
　　→受けステージユニット
　　→ローダ・アンローダユニット
　　→アライメントユニット
　　→IDリーダユニット
　　→測定ユニット（ご希望の測定機、検査機に対応可能）
　　→上位通信機能（オプション）

価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください
用途／実績例	特別仕様に対応致します。お気軽にお問い合わせください。