1辺25mmトライアングルの有効エリア！単一基板に数百条件分の組成分布を形成します
『CMS-6420』は、PLD法では実現しにくかった成膜面積の拡大を図るべく
開発された6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置です。
有効エリアは1辺25mmトライアングル。
4インチウエハを標準基板とするため、パターン描画・エッチングなどの
ライン後工程に投入できることから、成膜のみならず解析までを
ハイスループット化できます。
【特長】
■プロセスラインに適合可能な4インチウエハ対応
■有効エリア：1辺25mmトライアングル
■2元＆3元コンビ成膜に対応
■LabVIEWレシピ入力＆自動成膜
■最大6元構成(マトリクス用2インチカソード6基)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-6420
【基本仕様(一部)】
■2”マグネトロン・スパッタカソード6基
■4”ウエハカセット対応ロードロックシステム
■25mm/辺の3元コンビ試料の作成
■3元コンビ対応の精密移動マスク機構および基板回転機構
■Co-Sputtering成膜に対応
■自動圧力制御
■プロセスパラメーターロギング機能 など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログコンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-6420
取扱企業コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-6420
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