単一基板に数100条件の組成分布を形成。有効成膜エリアは1辺25mmの正三角形です
『CMS-3200』は、2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応する
3元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置です。
有効エリアは1辺25mmの正三角形。2インチウエハを標準基板とするため、
パターン描画・エッチングなどのライン後工程に投入でき、成膜のみならず
解析までをハイスループット化できます。
【特長】
■2元・3元のコンビナトリアル組成傾斜成膜に対応
■有効成膜エリア：1辺25mmの正三角形
■2インチ・マグネトロン・スパッタカソード3基搭載
■RF・DC電源を各3組最大6基搭載可能
■LabView によるレシピ編集と全自動コンビナトリアル成膜
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報コンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-3200
【基本仕様(一部)】
■2”マトリクス用スパッタガン3基
■強磁性体用スパッタ・カソード
■2”ウエハカセットロードロックシステム
■25mm/辺の3元コンビ試料の作成
■3元組成傾斜成膜対応マスク・システム
■Co-sputtering成膜に対応
■自動圧力制御
■プロセスパラメーターロギング機能 など
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログコンビナトリアル・マグネトロンスパッタシステム CMS-3200
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