アル株式会社 FSI Mercury MP

IoTとビックデータへの準備!オプションのリモートアクセスが可能です

『FSI Mercury MP』は、メインコントロール内のPLCコントロールASSYを
一式完全交換ができる製品です。

新しい24ビット12トゥルーカラータッチスクリーン付き機械制御システムを
採用。既存のプロセスレシピを保持しています。

また、オプションのリモートアクセスが可能となっており、
既存ケーブルへの簡単接続ができます。

【特長】
■フィールドサービスアップグレードキット(IN/OUT)
■ダイレクトドライブモーター、メンテナンスフリーモーターASSY
■IoTとビックデータへの準備
■既存のプロセスレシピを保持
■装置モデル:0106/0107/0113

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報FSI Mercury MP

【その他の特長】
■メインコントロール内のPLCコントロールASSY 一式完全交換
■新しい24ビット12トゥルーカラータッチスクリーン付き機械制御システム
■オプションのリモートアクセス可能
■既存ケーブルへの簡単接続

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログFSI Mercury MP

取扱企業FSI Mercury MP

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アル株式会社 本社

■各種ウェーハープロセス装置用部品・材料の設計・製造・輸入・販売 ■スパッタリング・真空蒸着装置の輸入・販売(米国CHA社) ■高真空部品(サーミオニクス社) ■高純度水素精製装置(ジョンソンマッセイ社)の輸入・販売 ■サファイア基盤・部品の輸入・販売 ■上記に付帯するメンテナンス・フィールドサービス

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