ボールウェーブ株式会社 【ニュース】ボールSAW微量水分計の半導体産業への展開を目指す
- 最終更新日：2024-01-10 12:55:31.0
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「研究開発型スタートアップ支援事業／PCA」に採択されました！
ボールウェーブ株式会社は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術
総合開発機構の2020年度「研究開発型スタートアップ支援事業／
Product Commercialization Alliance（PCA）」に係る公募に応募し採択されました。
先端の半導体産業においては、半導体基板表面に形成する配線パターンの
超高精細化、超薄膜化が極限的に進んでいます。
これらの先端半導体プロセスでは、これまでは問題にされなかったような
ごく僅かな不純物でも製品欠陥の原因になりうるため、使用される原材料の
不純物を極限まで減らすことが求められています。
本研究では、当社の高速応答が可能で小型高感度なセンサ「ボールSAWセンサ」を
用いた微量水分計 FalconTrace および FalconTrace miniをもとに、
先端半導体プロセスで使用される特殊ガス中の微量水分をインラインで
モニターできる装置の製品開発を実施します。
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