基本情報*ターボ分子ポンプ排気システムHiCubeシリーズ
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 |
お問い合わせください
※型番・数量によって納期が変動いたします。お気軽にお問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ファイファーバキューム社製HiCubeシリーズ |
| 用途／実績例 | 【用途】 クライオスタッド 加速器・放射光施設 分析装置（プローバー、試料精製等） 各種真空装置（真空炉、ガス置換等） |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| HiCube30 Eco | •排気速度 N2：22~32 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF(ICF114) |
| HiCube80 Eco | •排気速度 N2：35~67 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <1.0×10-6 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF(ICF114) |
| HiCube80 Classic | •排気速度 N2：35~67 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63 ISO-K, 63CF(ICF114) |
| HiCube80 Pro | •排気速度 N2：35~67 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF(ICF114) |
| HiCube300 Eco | •排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100 ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube300 Classic | •排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube300 Pro | •排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube300H Eco | •排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <1.0×10-6 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100 ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube300H Classic | •排気速度 N2：260 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ < 1.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube300H Pro | •排気速度 N2：22~32 l/s、H2：19~20 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：40ISO-KF(NW40), 63ISO-K, 63CF/ICF114 |
| HiCube400 Classic | •排気速度 N2：355 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube400 Pro | •排気速度 N2：355 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：100ISO-K, 100CF(ICF152) |
| HiCube700 Classic | •排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203) |
| HiCube700 Pro | •排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ <5.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203) |
| HiCube700H Classic | •排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ < 1.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203) |
| HiCube700H Pro | •排気速度 N2：685 l/s •到達真空度：<1.0×10-5 ~ < 1.0×10-8 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •吸気口：160 ISO-K, 160CF(ICF203) |
詳細情報*ターボ分子ポンプ排気システムHiCubeシリーズ
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•大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
•業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
•ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
•付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能
•アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) → 面倒な配線作業などが不要
•ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
•ユニットからターボ分子ポンプの切り離しが可能（オプション） ⇒ 真空引き時間の短縮
カタログ*ターボ分子ポンプ排気システムHiCubeシリーズ
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