高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』 ITWジャパン

実証された長期安定性！高温アプリケーション向けの超高清浄性能をご提供いたします

『5850EMHシリーズ』は、リークインテグリティの高いメタルシールに、
柔軟なアプリケーション対応を可能にする高温マスフローコントローラです。

さまざまなオプションを組み合わせ、先端の高温ガス測定および制御を実現。

当製品の中心は、電子出力信号と流量を表示する安定性の高いセンサーで、
この信号は、自動ゼロ調整回路を使用せず、表示、記録、制御を行う場合に
使用します。

【特長】
■高リークインテグリティ（10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He 以下）
■幅広い流量レンジ（0.003～100 slpm）
■高清浄VAR 316Lステンレス製
■粒子の発生を防ぐ
■ヘリウム漏れチェックポート

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基本情報高温マスフローコントローラ『5850EMHシリーズ』

【その他の特長】
■平常時クローズドバルブ（平常時オープンバルブのオプションもあり）
■電動式バルブオーバーライド
■低コマンド流量カットオフ
■TTl準拠の「バルブオフ」機能

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用途／実績例	【用途】 ■光ファイバー製造 - MCVD、OVD、AVD ■流量蒸気流制御 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。