マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』 ITWジャパン

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー
コントローラ/メータです。

さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、
フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。

MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。
1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。

【特長】
■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能
■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応
■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用
■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載
■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント
　±1%の制御精度を実現

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基本情報マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

【その他の特長】
■ツールの通信系から独立した、アクセスしやすい診断サービスポートを搭載
　Brooks Expert Support Tool と MultiFlo Configurator の2種類の弊社専用ソフトウェアに対応
■耐腐食性センサにより、最大級の稼働率とスループットを保証するセンサの長期安定性を提供
■DeviceNet、EtherCAT、Profibus、RS-485/アナログインターフェースなど、
　豊富な通信オプション
■ユーザー様の所有するガス種と流量レンジが固定されたMFC/MFMの予備品や在庫の削減

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用途／実績例	【用途】 ■太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ライフサイエンスバイオリアクタ ■真空プロセス ■ナノテクノロジー/MEMS製造 ■プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■マニホールド/ガス供給システムの選択肢 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。