株式会社協同インターナショナル チャッククリーニングウェハ(CCW) 技術ハンドブックVol.1
- 最終更新日：2021-10-26 12:02:28.0
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技術ハンドブックプレゼント！種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などをご紹介
当資料は、ウェハチャック上のゴミ／パーティクルを除去するための
お掃除用ウェハについてご紹介している技術ハンドブックです。
フォトリソ工程やエッチング工程、スパッタ工程での優れた効果をはじめ、
種類・他社品比較の優位点・品質、導入効果などを掲載。
ぜひ、ご一読ください。
【掲載内容(一部)】
■チャッククリーニングウェハ(CCW)とは
■CCWの紹介(開発の歴史・材質)
■CCWの製品紹介（種類・他社品比較の優位点・品質)
■Particle/Defect Removal Film について
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報チャッククリーニングウェハ(CCW) 技術ハンドブックVol.1
【その他の掲載内容】
■CCWの導入効果
・フォトリソ：(1)(2)
・エッチング：(1)(2)(3)
・スパッタ：(1)(2)
■まとめ
■会社概要
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログチャッククリーニングウェハ(CCW) 技術ハンドブックVol.1
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