日本エクセル株式会社 ケミカルヒータ
- 最終更新日：2020-11-09 17:46:57.0
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金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置をご紹介
日本エクセル株式会社では『ケミカルヒータ』を取り扱っております。
当製品は、RCA洗浄やウェットエッチングで用いられる各種薬液の
高温加熱用として、短時間に精度よく温度制御する抵抗ヒータを用いて
います。
さらに、接液部にはフッ素樹脂と高純度ガラス状炭素のみを用いているため
不純物汚染の恐れが無く、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への
対応が可能です。
【特長】
■加熱部の伝熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用
■溶出金属イオンによる汚染の心配がない
■表面保護膜不要のため、剥離による能力低下がない
■酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能
■薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報ケミカルヒータ
【仕様(一部)】
■加熱方式
・抵抗ヒータ(カートリッジヒータ)による加熱方式
・処理槽とのインライン配管による直接循環方式
■温度設定範囲：25℃～80℃(使用環境、薬液の種類等の条件により異なる)
■温度制御精度：±0.5℃(設定温度50～80℃時) ※使用環境条件一定にて適したPID値設定のとき
■ヒータ電力量：6kW
■温度制御方式：PID制御、オートチューニング機能付き
■温度設定方式：UP/DOWNキーによる設定 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体製造ウェットプロセスで使用される薬液の温度管理 ・ポリマ除去液 ・RCA洗浄液 ・エッチング液 ・リソグラフィ工程の現像液 ■メッキ液、各種表面処理液、他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 |
カタログケミカルヒータ
取扱企業ケミカルヒータ
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■工業用シール部品の販売(パッキン･ガスケット･メカニカルシール・ポンプ・継手) ■半導体・液晶用洗浄機の販売（石英管備品洗浄・エッチングドラフト）
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