半導体薬液洗浄装置のインライン用！フッ素樹脂製の薬液加熱ヒーター
『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。
接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。
超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。
また、コンパクトなので設置が容易で、縦・横に設置できます。
【特長】
■接液部分は全てPFAを使用
■低ワット密度の設計で長寿命
■超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能
■コンパクトなので設置が容易
■縦・横に設置可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報薬液加熱ヒーター『EXS』
【ラインアップ】
■EXS20
■EXS40
■EXS60
■EXS80
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体薬液洗浄装置のインライン用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ薬液加熱ヒーター『EXS』
取扱企業薬液加熱ヒーター『EXS』
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