有限会社エクサ

フッ素樹脂製ヒーター『EDH』

半導体薬液処理槽内に設置！処理槽の形状に合わせて製作いたします

『EDH』は、接液部に全てPFA・PTFEを使用したフッ素樹脂製ヒーターです。 標準の容量は1KWから5KWで、処理槽の形状に合わせて製作いたします。 その他に、標準以外も製作可能です。 …

フッ素樹脂製熱交換器

フッ素樹脂の特性を生かした設計で各種用途に適した熱交換器をご提供！

当社が取り扱う『フッ素樹脂製熱交換器』をご紹介します。 シェル＆チューブ式熱交換器「EM-S型」をはじめ、平面状のイマージョン式 熱交換器「EM-U型」や円筒上のイマージョン式熱交換器「EM-…

薬液加熱ヒーター『ECN』

流動変動や衝撃に強い！半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーター

『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の インライン用薬液加熱ヒーターです。 ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な シャットダウン時の温度上…

薬液加熱ヒーター『EXS』

半導体薬液洗浄装置のインライン用！フッ素樹脂製の薬液加熱ヒーター

『EXS』は、半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーターです。 接液部分は全てPFAを使用しており、低ワット密度の設計で長寿命。 超純水、アルカリ液、酸性液に使用可能です。 また、…

ヒーター『EHS型超純水加熱インラインヒーター』

低温ヒーターを使用しているので寿命は半永久的でヒーター交換不要！

『EHS型超純水加熱インラインヒーター』は、接液部には全てPFAを 使用したフッ素樹脂製の半導体用インダインヒーターです。 不純物の溶出がなく、低温設計ヒーターなので長寿命です。 また、…