流動変動や衝撃に強い！半導体薬液洗浄装置のインライン用薬液加熱ヒーター
『ECN』は、接液部に全てPFAを使用した半導体薬液洗浄装置の
インライン用薬液加熱ヒーターです。
ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサーを内蔵し、停電等の急な
シャットダウン時の温度上昇は10℃程度で、流動変動や衝撃に強いです。
また、コンパクト設計により設置が容易なほか、電気制御は既設を
有効利用できます。
【特長】
■接液部には全てPFAを使用
■低温ヒーター仕様で薬液を劣化させない
■ヒーター過熱アラームセンサーと液漏センサー内蔵
■流動変動や衝撃に強い
■コンパクト設計により設置が容易
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報薬液加熱ヒーター『ECN』
【ラインアップ】
■ECN-30P
■ECN-45P
■ECN-60P
■ECN-90P
■ECN-120P
■ECN-240P
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■半導体薬液洗浄装置のインライン用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ薬液加熱ヒーター『ECN』
取扱企業薬液加熱ヒーター『ECN』
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