グローバルフィルター社製エレクトロニクス EPTFEシリーズ日本フィルトレーショングループ

0.01μの微細な保持率！高純度マイクロエレクトロニクス用途で優れた耐薬品性を提供－エレクトロニクスグレード EPTFEシリーズ

『EPTFEシリーズ』は、延伸ポリテトラフルオロエチレンメンブレンを
使用した高純度エレクトロニクスグレードのPTFEフィルタカートリッジです。

高純度マイクロエレクトロニクス用途で優れた耐薬品性を提供。
0.01μの微細な保持率で、浸食性の液体や有機溶媒中でも一貫した
汚染物質除去が達成されます。

各エレメントは、好適なパフォーマンスを保証するために完全性テスト済み
となっており、高水準の清潔さと清浄度を維持するためにクリーンルーム
環境で製造されています。

【特長】
■延伸ポリテトラフルオロエチレンメンブレンを使用
■高純度マイクロエレクトロニクス用途で優れた耐薬品性を提供
■浸食性の液体や有機溶媒中でも一貫した汚染物質除去が達成
■各エレメントは完全性テスト済み
■クリーンルーム環境で製造

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報グローバルフィルター社製エレクトロニクス EPTFEシリーズ

【操作条件】
■推奨交換差圧：35 PSID (2.4bar)
■最高温度：176°F(80°C)
■最大差圧：50 PSID(3.4 bar)＠68゜F(20℃)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【代表的なアプリケーション】 ■溶媒ろ過 ■エッチング液 ■高純度洗浄水 ■光化学ソリューション ■化学薬品の送出 ■超高純度電子機器グレードのガス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。