スピードファム株式会社 シリコンウェーハ用装置 製品カタログ
- 最終更新日：2021-01-18 17:32:15.0
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高平坦度なウェーハ加工を実現！当社が取り扱うシリコンウェーハ用装置を多数掲載！
当カタログは、スピードファムが取り扱うシリコンウェーハ用装置を
ご紹介しています。
φ300mmシリコンウェーハ用の両面同時鏡面研磨のためのポリッシング装置
「DSM20B-5P-4D-AL」や、ドライイン-ドライアウト構造の「EP-300-X」、
カセットtoカセット、スロットtoスロットのウェーハ搬送が可能な
「EP-200-XW-II」などを掲載。
製品の選定に是非、ご活用ください。
【掲載内容】
■DSM20B-5P-4D-AL
■EP-300-X
■EP-200-XW-II
■Fully Automated Single Side Polishing Line FAM 59SPAW
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基本情報シリコンウェーハ用装置 製品カタログ
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