スピードファム株式会社 IAG用装置 製品カタログ
- 最終更新日:2021-01-18 17:35:43.0
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加工物のサイズにあわせて装置の選定可能!特長や寸法、キャリア搭載数なども掲載!
当カタログは、スピードファムが取り扱うIAG(酸化物・サファイア・SiC・
GaAs・水晶・セラミックス・金属 他)用装置をご紹介しています。
材質を問わず、ラップ、ポリッシュ加工が可能な標準型の「DSM 16B-5L/P-V」や、
スラリー流量、ALC定寸システム制御の追加で、更なる安定加工が可能な
「DSM10.5B-5L/P-V」などを掲載。
特長や寸法、キャリア搭載数なども詳しくご紹介しております。
【掲載内容】
■Process and Application
■DSM 16B-5L/P-V
■DSM10.5B-5L/P-V
■FAM 50GPAW-III
■EPRO-212EN
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