ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』三明

録画機能搭載！貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応

『SIM-2300EG』は、録画機能搭載のウェハ・エッジビューワーです。

ウェハの薄さが求められる昨今のプロセスで、バックグラインド時の
「チッピング」や「クラック」、貼合せ時の「異物付着」や「位置ずれ」など、
気になるウェハ・エッジ状態を見ることが可能。

高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載し、
エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示ができます。

【特長】
■ウェハサイズは4インチ～12インチに対応
■高精度なメカニカル・ウェハサイズチェンジャー、調芯機能を搭載
■貼合せ、バックグラインド、トリミングなど様々なウェハに対応
■エッジ部の上下面と側面の連続録画、寸法測長や2値化表示が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報ウェハ・エッジビューワー『SIM-2300EG』

【仕様（抜粋）】
■検査ウェハ：6インチ～12インチ（ホルダ変更で4インチ対応）
■検査対象：ウェハのエッジ部分外周360度角度設定1度単位
■ビューワー
　・3方向同時表示ノッチ検査可能
　・目視にてクラック、傷、異物、膜面状態、面荒れなどが視認可能
■スループット：10秒/枚～30秒/枚（条件による）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■ウェハ・エッジ状態を見る ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。