株式会社ジェーイーエル ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』
- 最終更新日：2021-01-19 09:17:16.0
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ウェーハ交換時間の短縮！ツインアームを採用した4軸円筒座標型防水ロボット
『STWCR4000シリーズ』は、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き
4軸円筒座標型ツインアーム防水ロボットです。
アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保しており、アーム関節部
防水構造にVシールを使用しています。
保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に
適しています。
【特長】
■300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付き
■アーム部はテフロンコーティングにより耐蝕性を確保
■アーム関節部防水構造にVシールを使用
■ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮が可能
■酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送に好適
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける酸・アルカリの雰囲気中のウェーハの搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』
取扱企業ツインアーム防水ロボット『STWCR4000シリーズ』
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電子機器製造販売
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