株式会社三栄精機工業 半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！
- 最終更新日：2021-04-05 17:31:31.0
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お客様のご希望の精度を保証する為、三次元測定機を複数設備。
LEGEX９１０６はミツトヨ製の最高クラスの高精度三次元測定機で、高精度の要望にお応えするべく 導入しました。
地下振動を最大限抑える為、アクティブダンパーを利用した免震構造用い、振動影響を無くし1μｍを保証しています。
また、±０．５℃以内の恒温室に設置することで製品の温度管理を行い、熱膨張による測定のバラつきを最小限に抑えております。
大手半導体製造装置メーカー様と長年お取引きをさせていただく中で、工程検査～出荷検査に至るまで厳しい管理を行い、お客様にご満足いただける商品のご提供に努めています。
加工設備
横型MC：a８１ｎｘ【900×900×1020ｍｍ】1台
Ａ７７【800×750×770ｍｍ】2台
立形MC：Ｖ77【1200×700×650ｍｍ】1台
Ｖ77Ｌ【1500×700×660ｍｍ】1台
ＮＶＸ7000Ｅ【1540×760×660ｍｍ】1台
5軸MC：D800Z【1200×1100×650ｍｍ】1台
※詳細はお気軽に、お問い合わせください。
基本情報半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！
測定設備
・LEGEX9106【高精度三次元測定機】 1台
測定サイズ：910×1010×605ｍｍ メーカー：ミツトヨ
測定精度：0.35＋Ｌ/1000（μｍ）
(プロ―ピング誤差 0.45μｍ以下)
最小表示量：0.00001ｍｍ
最小測定圧：0.03Ｎ
恒温室：2２℃±0.5℃
・Bｒｉｇｈｔ910【三次元測定機】 1台
測定サイズ：900×1000×600ｍｍ メーカー：ミツトヨ
・ＱＭ－Ｍｅａｓｕｒｅ353【三次元測定機】 1台
測定サイズ：300×500×300ｍｍ メーカー：ミツトヨ
※詳細はお気軽に、お問い合わせください。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 試作加工～中量産対応まで対応 ・半導体露光装置 ・液晶露光装置 ・車載設備 ・航空宇宙 ・医療用各種診断装置 |
カタログ半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！
取扱企業半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！
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○立型・横型マシニングセンタを使用した精密加工部品 ○平面研削盤を使用した精密研削 ○鋳造品の型製作より、量産加工までの一括受託 ○1μm保証の高精度三次元測定機による受託検査 加工設備 横型MC：a８１ｎｘ【900×900×1020ｍｍ】1台 Ａ７７【800×750×770ｍｍ】2台 立形MC：Ｖ77【1200×700×650ｍｍ】1台 Ｖ77Ｌ【1500×700×660ｍｍ】1台 ＮＶＸ7000Ｅ【1540×760×660ｍｍ】1台 5軸MC：D800Z【1200×1100×650ｍｍ】1台 測定設備 ・LEGEX9106【高精度三次元測定機】 1台 測定サイズ：910×1010×605ｍｍ メーカー：ミツトヨ 測定精度：0.35＋Ｌ/1000（μｍ） (プロ―ピング誤差 0.45μｍ以下) 最小表示量：0.00001ｍｍ 最小測定圧：0.03Ｎ 恒温室：2２℃±0.5℃ 他三次元測定機２台
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