小型電子部品専用気密検査装置｜MSX-0101 series フクダ

ボンビングによる充填、圧力変化確認によるグロスリーク、質量分析によるファインリーク、これらが１台で完結する複合気密検査装置です。

『 MSX-0101 series 』はMEMS、水晶デバイス、SMD等の電子部品の気密検査に最適な小型電子部品専用気密検査装置です。

ヘリウム充填、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台のシステムに完全装備。

充填時間、放置時間を管理することで、適正なグロス、ファインリークを実施することができます。

【特長】
■MEMS、SMD等の電子部品の漏れ検査に好適
■充填時間、放置時間を管理しながらグロス、ファインリーク量を数値化
■グロスリークテスト、ファインリークテストを1台で対応できる
■ボンビング条件とグロスリーク条件を適切に設定することにより、高い精度のファインリーク測定が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報小型電子部品専用気密検査装置｜MSX-0101 series

【測定の手順】
■ヘリウムガスの充填
１．ボンビングチャンバにワークを挿入
２．ボンビングスタートボタンにてボンビング開始
３．ボンビングが終わったら、ワークを取り出す
■測定
４．ワークをカプセルに挿入
５．測定スタートボタンにて測定開始
６．測定が終わったらワークを取り出す

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