電圧制御により圧力を自由自在にコントロール！小流量から大流量まで幅広いラインアップ
「APUシリーズ」は、外部圧力センサからのフィードバックにより瞬時に圧力・流量をコントロールする電空レギュレータです。
制御再現性：±0.1 % 応答性：0.5 s ＊使用条件による参考値
「APU-508W」をはじめ、「APU-520W」「APU-70W」など、必要とする流量や圧力にあわせた豊富なバリエーションからご選定いただけます。
【特長】
■電圧制御により連続的に圧力・流量をコントロール
■外部圧力センサによりワーク直前の圧力監視可能
■ΔP制御や定差圧制御を可能とした外部圧力センサ
■小流量から大流量まで幅広いラインアップ
■用途に応じて、正圧、負圧、連成圧から選択可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報スーパー電空レギュレータ『APUシリーズ』
【ラインアップ（抜粋）】
■APU-508W
■APU-514W
■APU-520W
■APU-70W
■APU-90W
■APU-120W
■APU-130W
■APU-220P
■APU-300V
■APU-300P
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【アプリケーション】 ■高精度流量測定（定差圧コントロール） ■高精度荷重コントロール ■各種センサ性能試験、各種センサの総合検定に ■ウェハーテストのプロービング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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