スラリー液用　フッ素樹脂製ベローズポンプ日本ピストンリング

金属汚染の心配なし！接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。

CMP用スラリー対応型
(酸化膜スラリー・メタル用スラリー)

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基本情報スラリー液用　フッ素樹脂製ベローズポンプ

【特長】
◆ 独自にデザインされたラウンドベローズによりスラリーのせん断を減少。
◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。
◆ 接液部にOリングを使用していない。
◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。
◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。
◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。
◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。
◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の３機種。

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型番・ブランド名	ASTIPURE2 A2SY
用途／実績例	【用途】・半導体プロセスに使用される高純度薬液の移送。・循環、濾過、薬液供給システムにおける流量制御。・クリーンルーム内での安全な薬液移送。・腐食ガスなど悪環境下での薬品処理。・化学薬液の注入、サンプリング等。・医薬品の定量注入。・移送液量の可変制御。