CCTECH Japan 外観検査装置 Prestige V
- 最終更新日：2021-03-05 14:07:34.0
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８インチWafer専用に開発したPrestige IIのコストダウンモデル。Wafer上の欠陥とムラを同時に検査することが可能。
PRESTIGE Vは既存PRESTIGE IIの廉価版製品。装置のサイズを50%ダウンし、省スペース化しました。カメラアングルは評価段階で設定し、工場出荷時に固定し、ウェハサイズに制限はあるものの検査機能はPRESTIGE IIを継承した廉価版製品になります。
基本情報外観検査装置 Prestige V
● 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能を用意、幅広い検査に対応
● 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適照明
● カメラアングルを評価時に設定、装置を小型化
● 欠陥検査とムラ検査が同時処理
● 6/8インチ対応
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Prestige V |
| 用途／実績例 | 半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかしながら、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生します。その各工程に自動化した検査装置を入れることにより、各工程の半導体工程作業の微調整を可能にします。また、半導体のウェハーのみならず、金属エッチング加工製品では、目視で欠陥やゆがみなどを検査しますが、それら加工製品の数量が増加すれば、目視検査での見落とし、また、人件費が膨大に膨れます。その見落としと人件費を削減するために、半導体、金属エッチング加工製品の検査工程にPrestigeを導入することにより、検査工程の見落としから費用の削減までを可能にします。 |
詳細情報外観検査装置 Prestige V
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外観検査装置 Prestige V
カタログ外観検査装置 Prestige V
取扱企業外観検査装置 Prestige V
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CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 日本法人
事業内容は主に ★半導体ウェハー上で検査するために必要なプローバー、テスター、ハンドラー ★モジュール検査用のデジタル検査装置 ★Wafer上の各ダイがムラなく均一に製造されているか確認できる外観装置。 ★Wafer上の前工程で異物やパーティクルなどを確認する外観装置 などをご提供しております。 製品は、既存で準備している製品から、お客様の要望に基づき、検査装置をカスタム開発することも行っており、スタートアップかつ、若手Engineerが多く活躍する非常に柔軟な対応のできる企業になります。新規工場設立の際の検査装置の導入から、既存ラインで、人的外観検査を行っている部分へ外観検査装置を導入することで、検査の精度を上げつつ、経費を削減できることを可能にします。現在人的に検査をしている作業を自動化させるための製品を提供しております。
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