クリスタルゲージ『M-320XG』キヤノンアネルバ

優れた再現性で測定が可能！熱源（フィラメント）を持たない真空計

『M-320XG』は、大気圧から1×10^-2Paまでの広い範囲にわたって、
信頼性の高い測定ができるクリスタルゲージです。

水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用し、
はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能。

あら引きゲージとしての用途以外に、チャンバの大気圧ベントの検出用の
圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

【特長】
■大気圧から10^-2Paまで、優れた再現性で測定
■熱源（フィラメント）を持たない
■取り扱いが安全な上、プロセスガスに影響を与えない
■コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g
■環境に配慮した少ない消費電力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報クリスタルゲージ『M-320XG』

【仕様（抜粋）】
■測定球：XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用）
■測定圧力範囲：1×10^-2Pa～大気圧
■Gas種選択：N2、Ar、H2、Air
■入出力コネクタ：Dsub 15P
■外形寸法（mm）：72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず）
■質量：200g（ゲージヘッド含まず）
■所要電力：DC 22V～33V、（最大消費電力2W）
■センサー取り付けフランジ：NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■各種真空装置のあら引き圧力の測定 ■各種プロセスの圧力測定 ■チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ ■その他大気圧から10^-2Pa台までの圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。