電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』キヤノンアネルバ

豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能！電源電圧は特注も対応いたします

『M-723HG、M-823HG、M-923HG』は、多様なゲージに対応する
豊富な拡張ボードを備えた一般的なB-A型電離真空計シリーズです。

真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能や
APC（自動圧力制御）で有効なレンジホールド機能を標準装備。

「M-823HG」ではワイドレンジ B-A ゲージとサーモカップルゲージの
コンビネーション及びゲージの自動切替を行うオートフィラメント機能の
搭載により大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

【特長】
■圧力レンジは自動切換
■圧力及び種々のメッセージが液晶表示
■豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
■セットポイントを2点標準装備
■記録計用出力として、D/A 出力を標準装備

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』

【その他特長】
■APC（自動圧力制御）用に、便利なレンジホールド機能を標準装備
■TC、CM などのあら引きゲージから B-A ゲージへ自動切換する
　オートフィラメント機能が搭載（M-823HG）
■ガス種による比感度の設定が可能
■電源電圧は、AC100Vの他、AC115/200/230Vも特注にて対応可能
■様々なオプションにより機能を拡張できる

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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用途／実績例	【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。