スパッタ・エッチング装置の冷却やレーザー発振器の冷却などに！
当資料は、当社の高性能チラー『PCU-SLシリーズ』を使用した
半導体・電子・電気業界向けアプリケーションガイドです。
様々な従来の問題をはじめ、スパッタ・エッチング装置の冷却、
レーザー発振器の冷却、などのアプリケーションについて
イラストとともにご紹介。
ぜひ、ご活用ください。
【掲載内容】
■真空蒸着装置の冷却
■スパッタ・エッチング装置の冷却
■半導体デバイスのエージング試験装置の温度条件
■レーザー発振器の冷却
■薬液タンクの温調
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基本情報【事例】チラー導入事例集ー半導体・電子電気業界編/アピステ
【その他の掲載内容】
■悪条件でも持続する冷却能力
■タクトタイムを縮める圧倒的レスポンスと温度安定性
■サービス＆サポート
■PRODUCT LINEUP
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