ほぼ理想的な混合物が作成可能!直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応
コンビナトリアル技術では、1つの試料基板の上に、2元あるいは3元の
材料の組成を0%から100%まで変化させた薄膜を形成します。
移動マスクを用いて、くさび状の膜厚傾斜を持つ極薄層を交互に積み重ね、
ユニット層の厚みが0.2nm(2A)ですので、この値は原子間距離に等しく、
ほぼ理想的な混合物が作成可能。
2元あるいは3元の全ての組成が1つの試料に含まれていますので、1つの
組成傾斜試料を分析・解析することで、新機能を得るための組成最適化を
短時間で行うことができます。
【特長】
■組成傾斜は移動マスクの機械的な動きによって形成
■直線性に優れ、試料内の幾何学的な配置と組成が1対1に対応
■組成のみが試料内で変化しているので、試料の特性評価が安定で容易
■ユニット層の厚みが0.2nmのため、ほぼ理想的な混合物が作成可能
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