三協インタナショナル株式会社白色光干渉計 IMS5600-DS

最終更新日：2021-06-21 10:33:58.0
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真空環境下及びクリーンルーム内で計測の出来る白色光干渉計です

ナノメートル精度の絶対距離測定
30ピコメートルの高分解能
真空環境に適したセンサ及びケーブル

基本情報白色光干渉計 IMS5600-DS

(仕様)
レンジ : 0～2.1mm
出力 : アナログ : 4-20 mA、0-10 V デジタル : RS422/EtherCAT/Ethernet
分解能 : ＜30 pm
精度 : < ±10 nm
応答性 : 100 Hz～6 kHz
温度 : 5～70 ℃
測定体 : ガラス、反射面、拡散表面など