ジャパンクリエイト株式会社 有機EL用蒸着装置
- 最終更新日:2021-09-08 13:26:57.0
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『有機EL用蒸着装置』は、デバイス開発や材料開発に好適なマルチチャンバ
仕様の装置です。
前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能。
目的に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、
封止室等を自由に選択できます。
【特長】
■基板サイズは最大□300mm対応
■蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能
■CVD室、スパッタ室等との組み合わせも対応可
■各種オーダーメイドも製作可能
■デモ機にてサンプル処理を実施
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報有機EL用蒸着装置
【ラインアップ】
■□650×550mm対応量産用セル評価装置
■有機EL用Ag蒸発源
■□100mm対応プラズマCVD室
■□100mm対応透明電極用スパッタ室
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■有機ELディスプレイ ■有機EL照明 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
カタログ有機EL用蒸着装置
取扱企業有機EL用蒸着装置
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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