立体物用スパッタリング装置ジャパンクリエイト

立体物成膜での高いカバレッジを実現！最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です！

『立体物用スパッタリング装置』は、当社独自のスパッタカソードを
搭載しています。

ワークステージに4軸機構（昇降、公転、自転、チルト）を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現。
加熱機構、バイアス電源を搭載し、逆スパッタ、高温スパッタ、膜応力制御が可能です。

最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が
可能です。

【特長】
■当社独自のスパッタカソードを搭載
■ワークステージに4軸機構を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現
■最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能
■各種オーダーメイドも製作可能
■デモ機にてサンプル処理を実施

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://japancreate.co.jp/

基本情報立体物用スパッタリング装置

【仕様（抜粋）】
■ワークサイズ：最大φ5インチ×高さ40mm
　形状・サイズ・材質等で異なりますのでお問い合わせください
■スパッタカソード：マグネトロン方式、ターゲットシャッタ
■スパッタ電源：RFまたはDC
■プロセスガス：Ar、O2、N2、他
■真空排気：TMP+RP
■圧力制御：APC制御
■制御操作
　・制御：PLC
　・操作：タッチパネルまたはPC

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください
用途／実績例	【用途】 ■MEMS ■電子部品 ■光学部品 ■車載部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログ立体物用スパッタリング装置

立体物用スパッタリング装置

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取扱企業立体物用スパッタリング装置

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。