有限会社ソーラーリサーチ研究所 クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

基本情報クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

新機能：周囲のチップを噴出気体により吹き飛ばすことなく非接触でつかみ移載します。
　ソ－ラ－リサ－チ研究所では、□5ｍｍウエハ～の微小ワークのチップ用ベルヌーイチャック「非接触クリーンチャック」を開発しました。この装置は、気体を噴出することにより
エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、小さく裁断されたウエハチップを空中に浮遊した非接触状態にてチャックし、所定の場所に搬送します。 　　　　　
　新機構として吸着パッドの周囲に排気路を変更する回路を設けており、排気方向を変更します。そのため排気が周囲のチップを吹き飛ばすことはありません。
　したがってクリーンルームにて仕様可能です。
◎特徴　
1.　周囲のチップを吹き飛ばさない。
2.　周囲に排気を噴出しない。
3.　クリーンルームにて使用可能。
4．チップに傷、汚れを付着させない
5．チップにパッド跡をつけない。
◎適応
ウエハ　ウエハチップ　微小レンズ　微小ワーク

　



　　　 　

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取扱企業クリーンルーム対応5mm角ウエハ用小型ベルヌーイチャック

有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

非接触搬送装置「フロートチャック」（特許自社開発）を用いたウエハ、液晶ガラス、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。

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